合肥長鑫是如何在銅墻鐵壁上鉆出洞來的?
動態(tài)隨機(jī)存取存儲器(DRAM)是一種半導(dǎo)體存儲器,用于計算機(jī)處理器中以實現(xiàn)最佳功能。隨著云計算的應(yīng)用場景越來越多,市場對于DRAM的需求正在擴(kuò)大。這個市場,向來不是中國企業(yè)的舞臺,很長的一段時間里,三星電子,SK海力士和美光科技(MU)三家公司占據(jù)著95%的市場份額,它們稱為“ DRAM Trio”或“ D3”。它們既是高墻,也是鐵板。
如今,一絲絲裂縫出現(xiàn)了。
5月14日,合肥長鑫推出了自己的DRAM芯片產(chǎn)品,這被視作中國企業(yè)在此領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從0到1的突破。
DRAM芯片退潮記
中國曾經(jīng)在DRAM領(lǐng)域,嘗試過突破。
1993年,“908工程”的主體項目——無錫華晶生產(chǎn)出國內(nèi)第一塊基于2.5um制程工藝的256 Kb DRAM。
但這并不能令人滿意。自1990年開始的“908工程”,此時已經(jīng)投資了20多億元,但市場化的前景依然模糊,一兩塊產(chǎn)品的突破,顯然不能滿足期待。
擔(dān)心很快成為現(xiàn)實,1997年,無錫華晶總算建成投產(chǎn),但“建成即落后”的現(xiàn)實和隨之而至的金融危機(jī),讓它陷入發(fā)展瓶頸。
1997年,華晶投產(chǎn)時,韓國的芯片技術(shù),尤其是DRAM技術(shù),已經(jīng)大幅度領(lǐng)先美國及日本,成為世界第一,推出了0.18um制程工藝的1Gb容量的DRAM。但華晶的技術(shù),正是來自日本。
1998年,無錫華晶與上海華虹簽署合作協(xié)議,為“909工程”的主體項目上海華虹生產(chǎn)MOS圓片,華晶芯片生產(chǎn)線開始承接上華公司來料加工業(yè)務(wù),開始執(zhí)行100%代工的Foundry模式。
中國企業(yè)第一次主動放棄了在DRAM芯片的追趕與努力,這也意味著,相關(guān)技術(shù)開始步步落后。尤其是衡量DRAM芯片的兩個重要指標(biāo)制程工藝和容量,更是再無追趕可能。
上海華虹試圖追趕,并開始引入日系的DRAM芯片企業(yè)NEC。1999年9月,華虹開始量產(chǎn)基于0.35um制程工藝8吋晶圓的64M DRAM芯片,但同樣的產(chǎn)品,三星已經(jīng)在1992年量產(chǎn)。
2001年,NEC沒能熬過互聯(lián)網(wǎng)泡沫,宣布退出DRAM市場,并將半導(dǎo)體部門剝離出來,另外合資成立了爾必達(dá)(Elpida)。華虹立刻陷入了困局,不僅是工藝落后,現(xiàn)在連技術(shù)源都失去了,此后,華虹開始轉(zhuǎn)型,并于2004年開始晶圓代工,退出了DRAM產(chǎn)業(yè)。
“市場換技術(shù)”并沒有帶動產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展,中國芯片企業(yè),再次嘗到了苦果。
同樣是2004年,上市后的中芯國際在北京投資建設(shè)了中國大陸第一座12吋晶圓廠(Fab 4),并于2006年大規(guī)模量產(chǎn)與奇夢達(dá)(Qimonda AG)母公司英飛凌(Infineon Technologies)提供的80nm制程工藝的DRAM芯片,同時為奇夢達(dá)、爾必達(dá)代工生產(chǎn)DRAM芯片,到2008年時,中芯國際在DRAM制造領(lǐng)域,已經(jīng)獲得了大陸30%的市場份額,但是隨著與臺積電(TSMC)官司的加深,中芯國際被迫放棄DRAM芯片業(yè)務(wù)。
中國大陸的DRAM芯片從設(shè)計到制造,全線衰落。
2008年的金融危機(jī),導(dǎo)致了DRAM芯片行業(yè)發(fā)生了巨大變化,奇夢達(dá)倒閉,爾必達(dá)被鎂光(Micron)收購,全球DRAM產(chǎn)業(yè),進(jìn)入到美韓壟斷的三星(Samsung)、海力士(Sk Hynix)及鎂光的“三巨頭”時代。
2013年開始,智能手機(jī)行業(yè)崛起,DRAM市場迅速擴(kuò)大,已經(jīng)掌握了絕對定價權(quán)的美韓企業(yè),拉開了DRAM價格一路上漲的大潮?!肮S失火、倉庫進(jìn)水、供電不足”均成為漲價理由。
在2019年中國半導(dǎo)體進(jìn)口的統(tǒng)計中,DRAM芯片進(jìn)口金額高達(dá)800億美元,占到了芯片進(jìn)口總額的一半。
突然殺出一個合肥長鑫
早在2014年6月24日,國務(wù)院印發(fā)《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》,將集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展上升為國家戰(zhàn)略。當(dāng)年9月24日,國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(簡稱“大基金”)成立。
全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局基本確定的情況下,國家牽頭,發(fā)起沖擊。
此時的DRAM市場格局是這樣的:三星以45%在市場占有率,占據(jù)著絕對地位,海力士29%緊隨其后,加上鎂光的21%,美韓占據(jù)了DRAM市場的95%,剩下的份額,被臺灣的南亞和華邦瓜分,中國,從0開始。
2016年,中國儲存器迎來了“自建”元年。
2月26日,晉華由福建省電子信息集團(tuán)、及泉州、晉江兩級政府共同出資設(shè)立,初期晉華集成與聯(lián)電開展技術(shù)合作,專注于DRAM領(lǐng)域;
6月13日,合肥長鑫由合肥產(chǎn)投牽頭成立,主攻DRAM方向;
7月26日,長江存儲成立,首個NAND Flash生產(chǎn)線在武漢建設(shè),一期投資240億美元。
面對一個動輒上百億元巨額投資、由寡頭壟斷、市場容量過萬億、年進(jìn)口總金額超1000億美元的產(chǎn)業(yè),中國的做法,不僅大膽,而且不再像之前的項目一樣,著眼一處。
這種采用多方并進(jìn)、多點齊投的發(fā)展模式,帶給了人們不同的思考。
合肥、泉州、武漢+紫光的“三地一企”的投資方式中,合肥是最不被看好的一處,彼時的武漢,已經(jīng)有紫光的一些公司在運營,他們是武漢新芯、西安國芯等,加上武漢已經(jīng)爭取到“國家儲存器基地”項目。
而泉州、晉江兩級共建的晉華,和臺灣有一衣帶水的優(yōu)勢,加上其技術(shù)來源是聯(lián)華電子,更是有一定優(yōu)勢。
但是,最終,是合肥又獲得了一個“京東方”。
這個被稱為“506項目”在合肥悄然啟動了,直到2017年3月9日,這個后來被稱為合肥長鑫的項目,都被叫做“506”。
2016年10月17日,項目開始。
2017年3月1日,安徽省《關(guān)于印發(fā)2017年省級調(diào)度項目的通知》發(fā)布,合肥長鑫的項目,位列其中。被譽(yù)為“戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)”的項目是一個12吋晶圓基地,總投資534億,2017年預(yù)計投資35億,并計劃在當(dāng)年完成調(diào)試工作。
很快,合肥長鑫的研發(fā)進(jìn)入到了快車道,當(dāng)所有人都以為,合肥長鑫會在兆易創(chuàng)新提供的技術(shù)基礎(chǔ)上開發(fā)DRAM芯片時,美國的禁令,給所有人都潑了一盆冷水。
合肥長鑫不得不調(diào)整了研發(fā)方向,從公開信息看,禁令來臨時,合肥長鑫的32層DRAM芯片已經(jīng)研發(fā)完成,64層DRAM芯片則逐步攻破原有技術(shù)難點,此后,合肥長鑫調(diào)整的研發(fā)方向,直接進(jìn)入64層DRAM芯片的研發(fā),并對原有的架構(gòu)設(shè)計進(jìn)行了一定程度的調(diào)整,以規(guī)避可能出現(xiàn)的專利風(fēng)險。
制程工藝方面,同時進(jìn)行著兩個10nm級方案,分別是1x nm的19nm和1y nm的17nm,分屬兩個不同的團(tuán)隊同時進(jìn)行,這與三星等巨頭存在差距,但距離不大。
2018年1月,合肥長鑫建成全國最大的單一12吋DRAM芯片晶圓生產(chǎn)產(chǎn)線。7月16日,合肥長鑫召開了一場“控片投片總結(jié)會”,宣布正式投產(chǎn)電性片,合肥長鑫是我國三大存儲器項目第一個宣布建成投片的項目。
會上,朱一明接過72歲王寧國CEO的位置,他是兆易創(chuàng)新的創(chuàng)始人,此舉被認(rèn)為是合肥長鑫利用朱一明的影響力來進(jìn)行國際采購和國際合作最重要的一步。
10月22日,朱一明訪問歐洲,先是希望從ASML,購買EUV光刻機(jī)。隨后前往比利時Leuven,拜訪IMEC(Interuniversity Microelectronics Centre,微電子研究中心)。
9月21日,2019世界制造業(yè)大會制造強(qiáng)國建設(shè)專家論壇在合肥召開,合肥長鑫宣布總投資1500億元的合肥長鑫DRAM芯片自主制造項目投產(chǎn),將生產(chǎn)國內(nèi)第一代基于10nm級(19nm)制程工藝的8Gb DDR4內(nèi)存。
朱一明表示,“投產(chǎn)的8Gb DDR4通過了多個國內(nèi)外大客戶的驗證,今年底正式交付,另有一款供移動終端使用的低功耗產(chǎn)品也即將投產(chǎn)。”
到了今年5月14日,京東上架第一個純國產(chǎn)DDR4內(nèi)存(采用國產(chǎn)長鑫顆粒)——光威弈系列Pro,這是合肥長鑫的第一個消費級DRAM芯片產(chǎn)品。
在2016年5月立項到2020年5月14日消費級產(chǎn)品上市,短短的五年時間內(nèi)內(nèi),合肥長鑫在元件、光罩、設(shè)計、制造和測試領(lǐng)域都積累了許多的技術(shù)和經(jīng)驗。
截止到5月19日,公開查詢到合肥長鑫的發(fā)明專利及授權(quán)發(fā)明專利超過850項,獲得轉(zhuǎn)移專利50余項,在一份“不公布發(fā)明人”的轉(zhuǎn)移專利中,我們看到了一份名為“隔離溝槽的填充方法、設(shè)備及隔離溝槽的填充結(jié)構(gòu)”的專利,這便是現(xiàn)階段合肥長鑫DRAM芯片的主要技術(shù)之一。
除了自主研發(fā)外,合肥長鑫的另一個關(guān)鍵詞是“奇夢達(dá)”,這是朱一明歐洲之行的另一個成果。
技術(shù)是護(hù)城河,資金是助推劑
2006年5月1日,由英飛凌半導(dǎo)體部門分拆而成的新內(nèi)存公司奇夢達(dá)成立,并迅速成為全球第二大的DRAM公司、300mm工業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者和個人電腦及服務(wù)器DRAM產(chǎn)品市場最大的供應(yīng)商之一。
因2008年次貸危機(jī)的影響,奇夢達(dá)于2009年1月23日向法院申請破產(chǎn)保護(hù), 4月1日,奇夢達(dá)正式進(jìn)入破產(chǎn)清算程序,這個時候,它的市場占有率依舊高達(dá)10%,位列當(dāng)時全球第五大DRAM芯片供應(yīng)商。
奇夢達(dá)是DRAM芯片技術(shù)的另一個流派。
2006年9月18日,奇夢達(dá)與南亞(Nanya Technology)合作,宣布推出基于75nm制程工藝的DRAM芯片的全新溝槽式技術(shù)(Trench Wordline Technology),這完全不同于三星、海力士和鎂光掌握的堆棧式技術(shù)(Stacking Wordline Technology)。
溝槽式的意思就是在記憶體上往下挖,以達(dá)到更大的儲存空間,而堆棧式顧名思義就是在記憶體上面往上堆,以獲得更大的存儲空間。
溝槽式遇到的技術(shù)瓶頸,會比堆棧式的快,顯然,奇夢達(dá)也發(fā)現(xiàn)了這個情況,隨后,便開始了新技術(shù)的研發(fā)。
2008年2月2日,在IEDM2008大會上,奇夢達(dá)提交了名為《6F2 buried wordline DRAM cell for 40nm and beyond》的論文,正式提出了基于40nm級(實際是46nm)的埋入式字線技術(shù)(Buried Wordline),這是一種基于“溝槽式技術(shù)”的技術(shù)變種,實現(xiàn)方式類似于堆棧式技術(shù)。
這一技術(shù)再一次成為了DRAM芯片發(fā)展史上的重要技術(shù)節(jié)點之一,奇夢達(dá)重新將DRAM芯片技術(shù)定義為“埋入式”和“堆棧式”。
4月22日,奇夢達(dá)與華邦(Winbond)簽訂65nm 埋入式技術(shù)DRAM芯片技術(shù)移轉(zhuǎn)協(xié)議,該項協(xié)議的重要內(nèi)容便是將奇夢達(dá)近期發(fā)表的埋入式DRAM芯片技術(shù)在后期的發(fā)展中納入到華邦以后的生產(chǎn)中,并取代之前的58nm制程技術(shù)。此時,基于埋入式技術(shù)的46nm制程工藝的開發(fā)已經(jīng)完成,但是,危機(jī)已經(jīng)來臨。
8月12日,華邦與奇夢達(dá)再次簽署協(xié)議,不過這次簽署的是《無力清償程序和解合約》,協(xié)議顯示,夢達(dá)公司并同意放棄于其無力清償程序中得對華邦電子所為之主張,華邦電子也同意不繼續(xù)參與奇夢達(dá)公司之無力清償程序。
更重要的是,華邦獲得了奇夢達(dá)遺留的46nm技術(shù),依靠這一技術(shù),華邦在2011年12月開發(fā)并量產(chǎn)了46nm的DRAM芯片。之后,由于與爾必達(dá)的合作,華邦放棄了DRAM標(biāo)準(zhǔn)件的生產(chǎn),轉(zhuǎn)入到消費級DRAM產(chǎn)品的持續(xù)開發(fā)中去,直到2017年6月,華邦才將DRAM芯片提升到38nm,之后再無進(jìn)展。
2015年6月,英飛凌將手中奇夢達(dá)的專利轉(zhuǎn)手打包出售,價格是3000萬美元,接手的公司是一家位于加拿大的專利“倒賣”公司,叫Polaris Innovations Limited(北極星公司)。
之后,奇夢達(dá)便消失在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長河之中,其技術(shù)再次面世,已經(jīng)是在中國。
2019年5月15日,合肥長鑫在上海舉辦的GSA MEMORY+峰會上,公布了自己的DRAM技術(shù)來源,是通過與奇夢達(dá)合作,獲得了一千多萬份與DRAM相關(guān)的技術(shù)文件(約2.8TB數(shù)據(jù)),以及16000份專利,具體的合作方式,合肥長鑫方面并沒有透露。
這一消息,讓人們知道了合肥長鑫的技術(shù)來源和風(fēng)險規(guī)避,至少,在專利壁壘和技術(shù)門檻極高的半導(dǎo)體行業(yè),手握專利,吃飯不愁。
2019年12月5日,Polaris Innovations Limited的母公司W(wǎng)i-LAN Inc.將這些專利打包賣給了中國的合肥長鑫,雙方均沒有披露具體的成交金額。
這些知識產(chǎn)權(quán)由12000多個專利組成,包括與DRAM、FLASH存儲器、半導(dǎo)體工藝、半導(dǎo)體制造、光刻、封裝、半導(dǎo)體電路和存儲器接口等相關(guān)的技術(shù),其中包括約5000多種美國專利和申請,7000多項國際性專利和申請,這些專利的平均有效期均超過4年,也就是說,基于奇夢達(dá)技術(shù)專利開發(fā)的DRAM芯片,在未來面臨的市場風(fēng)險,會小得多。
到了今年4月27日,合肥長鑫與美國半導(dǎo)體公司藍(lán)鉑世(Rambus Inc.)——這也是一家專利“倒賣”公司,簽署專利許可協(xié)議,合肥長鑫從藍(lán)鉑世獲得大量DRAM芯片技術(shù)專利的實施許可。
專利,成為合肥長鑫自救的手段之一,當(dāng)然,也不排除有一定的市場風(fēng)險。
有意思的是,在獲得奇夢達(dá)技術(shù)支持后,合肥長鑫花費25億美元的研發(fā)費用,在重新設(shè)計芯片架構(gòu)后,迅速將奇夢達(dá)遺留的46nm技術(shù),提升到10nm級(量產(chǎn)19nm,研發(fā)17nm)的水平。
這無疑又一次說明,只有強(qiáng)大的資金實力,才能成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的玩家。DRAM行業(yè)的三個玩家,無一不是這樣發(fā)展起來的,尤其是三星和海力士。
在前期強(qiáng)大的資金支持下,通過提供高利潤、高附加值的產(chǎn)品,獲得利潤后,大規(guī)模投入到新技術(shù)、新產(chǎn)品的開發(fā)中去,然后再迅速推出新產(chǎn)品,獲得極大的競爭優(yōu)勢,完成了良性循環(huán)。
三星如此、臺積電如此、英特爾如此、高通如此、華為如此,每一個芯片行業(yè)的玩家,都是從技術(shù)研發(fā)、資金支持走過來的,當(dāng)專利越來越集中、市場越來越集中的情況下,新進(jìn)入者的門檻越來越高,法律風(fēng)險越來越大,面對高科技的沖擊就越來越小心。
因此,新進(jìn)入者們,實際上最先考慮應(yīng)該是,如何能活下來,生存,才是他們最大的挑戰(zhàn)。
截止到發(fā)文時,合肥長鑫前期投資已經(jīng)超過500億,而且還在源源不斷的投資中,僅僅是46nm提升到10nm級,就花費了25億美元,以今天的匯率來看,早就超過了一期的計劃投資180億元人民幣,而后期的16nm/14nm/12nm,64層/128層的研發(fā),還不知道會花多少錢,規(guī)劃中的二期項目,更是追趕路上要用錢堆出來的項目。
只有國家意志的投入,才可能有高科技的產(chǎn)出,這種不計回收的投資,也只有舉國之力才可能完成。
追吧,追吧,目標(biāo)就在眼前了
在合肥長鑫最新公布的產(chǎn)能計劃中,在2020Q1已經(jīng)達(dá)到4萬片/月。到年底一期二階段投產(chǎn)后,計劃能達(dá)到8萬片/月。到2021年Q1時,一期工程達(dá)到滿產(chǎn),月產(chǎn)能12萬片,基本上能達(dá)到我國市場的3%,這是從0開始的極大進(jìn)步。
在2019年9月20日的中國制造業(yè)大會上,合肥長鑫公布了其技術(shù)發(fā)展計劃。長鑫通過授權(quán)獲得了奇夢達(dá)曾經(jīng)的的埋入式字線相關(guān)技術(shù),并借助從全球招攬的人才和先進(jìn)制造裝備,把奇夢達(dá)的46nm平穩(wěn)推進(jìn)到了10nm級。
與此同時,合肥長鑫也已經(jīng)開始了HKMG、EUV和GAA等新技術(shù)的研發(fā),這些技術(shù)研發(fā)的每一步,都是對國外先進(jìn)技術(shù)的追趕。
有意思的是,在未來的發(fā)展中,這幾個方向,也是三巨頭著力發(fā)展的方向,合肥長鑫的基調(diào),基本上就是試圖在1y nm/128層時追趕上三巨頭。
而且,在市場上,國際大廠在市場上圍剿中國公司突破壟斷產(chǎn)業(yè)時的殺手锏——價格戰(zhàn),在搭載合肥長鑫DRAM芯片產(chǎn)品上線后,就開始上演。
比如長達(dá)700多天沒有出現(xiàn)過降價的金士頓內(nèi)存,在光威弈系列Pro上架后,就出現(xiàn)了降價促銷的情況,雖然這本身就是一個商家的“促銷行為”,但是這不得不被深受其害的中國好事者們樂道,而且,他的價格很有針對性,光威中國芯內(nèi)存不是賣218嗎,我賣215。
追趕、廝殺、超越,無數(shù)中國企業(yè)曾經(jīng)踐行過的道路,正在半導(dǎo)體行業(yè)中上演。
編輯:admin 最后修改時間:2020-06-02